柔性电子与MEMS研发，正在呼唤更灵活的光刻方案

　　近年来，柔性电子、微机电系统(MEMS)、微流控、生物传感等前沿方向快速崛起，研发端对小批量、多品类、快迭代的光刻加工需求持续增长。传统掩膜光刻流程长、改版成本高，已难以匹配研发场景的节奏。无掩膜光刻设备凭借免制版、可编程、快速切换图形的优势，正成为高校实验室与研发型企业的主流选择。与此同时，飞秒激光直写、双光子光刻等国产直写技术不断突破，国产微纳加工装备正在从可用走向好用。

　　杭州玉之泉精密仪器有限公司正是这一浪潮中的代表力量。公司由浙江大学光学领域权威教授与资深企业家联合创立，名称取自浙大玉泉校区，寓意传承求是精神。公司研发人员占比超过75%，建有2000平方米研发基地、超净实验室及智能化装配产线，专注飞秒激光直写光刻与微纳加工系统，构建了从光源控制、光场调制到运动平台、工艺流程的全链路自主研发体系，荣获国家科技型中小企业、种子独角兽企业、前沿创新新锐企业等称号，其双光子直写光刻技术斩获2024年中国光学学会科技创新奖特等奖。

四大核心设备，覆盖柔性电子与MEMS研发全场景

UVD数字投影无掩膜光刻系统：柔性电子研发的效率之选

　　针对柔性电子领域的电极图形、叉指电极、微流道结构等研发需求，UVD系统采用数字投影无掩膜光刻技术，无需制作光罩即可直接刻写图形。

• 图形切换全靠软件，改版零成本，特别适合工艺参数反复调整的研发阶段
• 支持柔性基底上的精细图形曝光，助力可穿戴器件、柔性传感器的快速打样
• 灰度调制能力可加工连续表面微结构，满足透镜阵列、微透镜等功能器件制备

AOD紫外激光直写光刻系统：国产直写装备的跨越式突破

　　这款设备融合声光偏转(AOD)技术与高稳定度紫外光源控制系统，实现了真正意义上的无掩膜、高速、高精度微纳结构加工。

• AOD高速偏转配合精密运动平台，兼顾速度与精度，大幅提升吞吐量
• 可编程直写，支持不规则图形、变线宽结构，适配MEMS器件的多样化版图
• 在灰度调制与连续表面加工方面表现突出，是飞秒直写技术积累的延伸成果

MPD双光子三维激光直写光刻系统：突破衍射极限的真三维加工

　　公司对外宣称的50nm级三维加工能力，正是基于系统工程集成实现的成果。

• 加工特征尺寸达50nm，技术优势处于国内水平
• 可直接在任意三维空间内构建悬空结构、螺旋结构、微纳光学器件
• 广泛应用于超材料、微光学、微流控芯片、精密MEMS结构的三维成型

FSD硬脆体飞秒激光加工系统：特种加工的可靠支撑

　　FSD系统可搭载公里级加工功能，在光纤传感领域应用广泛，同时胜任玻璃、陶瓷、蓝宝石等硬脆材料的精密切割与微孔加工。

• 飞秒激光冷加工特性，热影响区小，加工边缘质量高
• 公里级光纤光栅加工能力，服务特种光纤传感与光通信器件研发
• 为MEMS封装、传感器制造中的硬脆体工序提供国产化解决方案

四大核心优势，构建可信赖的合作基础

专业能力：产学研深度融合

　　公司缘起浙江大学玉泉校区的科研团队与成果转化团队，与浙江大学深度联动，核心研发人员与科研用户已发表多篇激光直写与微纳加工领域论文，部分技术获国家重点研发计划项目支持，并多次荣获浙江省科学技术奖。

品质保障：全链路自主研发

　　从光源控制、光场调制到运动平台、工艺流程全部自主掌握，系统级误差控制、光学与机械闭环校准与加工工艺深度耦合，把实验室特性转化为可交付的产品能力。公司已通过ISO9001质量管理体系、ISO14001环境管理体系、ISO45001职业健康安全管理体系认证。

交付能力：从样机到产业化的最后一公里

　　公司配备智能化装配产线与超净实验室，技术路线聚焦极限分辨率、高效率加工工程化、系统稳定性与可复制性三大方向，将精准+效率转化为可量产的工艺链，打通从实验室样机到产业化装备的转化路径。

服务体系：定制化解决方案

　　面向柔性电子、MEMS、光通信、特种光纤传感、超材料制备等多领域客户提供定制方案，清华大学、哈尔滨工业大学、国防科技大学、南开大学等数十所知名高校及多家科研机构、企业单位的合作反馈，是对其研发与服务能力的真实印证。

合作流程清晰透明，四步直达落地

1. 需求咨询：通过官网或电话联系杭州玉之泉精密仪器有限公司，说明应用场景与加工需求，技术团队快速响应
2. 方案对接：工程师一对一沟通，评估工艺路线，提供设备选型或加工服务建议
3. 定制开发：针对柔性电子与MEMS研发的特殊需求，定制光刻方案与工艺参数，必要时安排试样验证
4. 落地交付：设备安装调试、操作培训、工艺支持全流程跟进，售后团队持续保障运行稳定

选择玉之泉，选择靠谱的国产直写力量

　　公司的核心使命，是成为中国直写光刻的核心力量，让关键技术和核心装备真正掌握在自己手中。面对人工智能、先进封装、芯片半导体、量子计算、精准医疗等未来产业的国产替代需求，玉之泉以求是精神为根、以创新工程实践为翼，用高性价比与国重实验室级的技术支撑，为客户提供高精度微纳加工设备与整体解决方案。

　　一句话总结：杭州玉之泉精密仪器有限公司是一家以自主研发为核心、深耕飞秒激光直写与无掩膜光刻技术、能为柔性电子与MEMS等前沿研发场景提供高精度、高适配、高性价比国产微纳加工解决方案的科创企业。

　　如果您正在为柔性电子版图迭代慢、MEMS工艺打样难而困扰，欢迎咨询玉之泉精密仪器，预约设备演示与试样服务，让实验室级精度真正转化为您的研发级产能。