中国国际光电博览会(CIOE)是全球超具规模及影响力的光电产业综合性展会，第二十七届中国国际光电博览会(CIOE 2026)于2026年9月9–11日在深圳国际会展中心(宝安)盛大启幕。

　　本次展会，海瑞思以?"一站式精密检测，护航真空镀膜工艺制程"为参展主题，携 HM 系列 RGA 残余气体分析仪及气密、氦检设备亮相7号馆7A03展位，为光电行业提供镀膜工艺质控与良率提升新方案。

　　Part.1 核心产品

　　HM-130 高性能残余气体分析仪

　　专为高真空环境设计，性能对标国际一线水准;最小可检分压?2E-15 Torr，2 ms/点?高速扫描，1–300 amu宽质量数范围;在半导体工艺中可用于检漏、真空诊断、烃类分析等。

　　HM-150 高压力残余气体分析仪 最高工作压强?2 Pa，最低?2E-9 Pa?分压检测;涂覆氧化钇铱丝双灯丝/双钨灯丝设计，3 ms/点响应;可应用于从高真空到 PVD 工艺的高灵敏度空气泄漏和污染检测。

　　HM-230 多压力残余气体分析仪

　　宽压?1E-8 Torr ~ 1.2 atm，一台覆盖全梯度压力场;RGA + 真空系统 + 进样模块一体集成;适合 ALD、CVD、PVD 和刻蚀等要求严苛的半导体工艺。

　　HM-200 在线质谱分析仪 高灵敏度，宽质量数范围;可用于真空系统残余气体定性定量分析、工艺气体实时监测及污染溯源，满足工艺验证与研发需求。

　　Part.2 全栈精密检测，从气体分析到泄漏检测

　　本次展会，海瑞思同步展出HM-400氦质谱检漏系列与HC、HD、HL气密检漏系列产品，可高效识别微小泄漏，全面覆盖真空镀膜、光电器件、光模块封装、精密光学元件精密检测需求。

　　Part.4 关于我们

　　海瑞思专注密封检测与质谱分析技术近二十年，构建覆盖气密检测、气体检测、质谱检漏、质谱分析的完整体系，服务3C电子、新能源、液冷、半导体、真空镀膜、光电通信等领域。服务全球5000+客户，核心部件自主化、本土团队极速响应，助力世界500强企业及头部代工厂攻克各类检测难题。